臭氧分析儀采用原電池微庫侖原理制造。儀器具有靈敏度高、測量快速、穩定等特點。是分析大氣中臭氧含量的儀器、低濃度臭氧分析儀適用于對環境大氣濃度的監測及臭氧發生源，例如：負離子發生器、復印機、臭氧消毒柜、臭氧空氣消毒設備、醫用臭氧消毒設備等的臭氧泄漏狀況進行監測、高濃度臭氧分析儀適用于臭氧發生器制造企業檢測產品的臭氧發生濃度，各衛生防疫部門對臭氧殺菌消毒產品的檢測。
化學檢測法：
1、碘量法：碘量法是常用的臭氧測定方法，我國和許多國家均把此法作為測定氣體臭氧的標準方法，我國建設部發布的《臭氧發生器臭氧濃度、產量、電耗的測量》標準CJ/T30282—94中即規定使用碘量法。其原理為強氧化劑臭氧與碘化鉀水溶液反應生成游離碘，臭氧還原為氧氣。
2、比色法：比色法是根據臭氧與不同化學試劑的顯色或脫色反應程度來確定臭氧濃度的方法，按比色手段分為人工色樣比色與光度計色，此法多用于檢測水溶解臭氧濃度。
國內檢測瓶裝水臭氧溶解濃度有使用碘化鉀等比色液的，其方式是利用檢測樣品顯色液管相比較，確定測樣臭氧溶解度值，要求準確的，則利用分光光度計檢測。
3、檢測管：將臭氧氧化可變化試劑浸漬在載體上，作為反應劑封裝在標準內徑的玻璃管內做成測管，使用時將檢測管兩端切斷，把抽氣器接到檢測管出氣端吸取定量臭氧氣體，臭氧濃度與檢測管內反應劑柱變色長度成正比，通過刻度值讀取濃度值。德國、日本和我國都生產臭氧檢測管，濃度范圍分為高（1000ppm）、中（10ppm）、低（3ppm）三種，用于檢測空氣臭氧濃度，適于現場應用，使用簡便，但精度低（為±15%）。
物理方法：
物理方法分析臭氧在上流行的是紫外線吸收法。它是利用臭氧對254nm波長的紫外線特征吸收的特性，依據比爾—郎伯定律制造出的分析儀器，只要選擇合適長度的吸收池，就可以檢測0.002mg/m3—5%（vol）濃度的臭氧。其線形在4—5個數量級內都很好，該法已被我國作為環境空氣中測定臭氧的標準方（GB1/T1154348）。
紫外線吸收法不但可以適用于檢測氣體中臭氧濃度，也可以檢測水中溶存的臭氧濃度。
